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高精度、大量程非接触式测量仪
- U2（xy平面）=（2.0+L/250）μm
- 0.1μm分辨率
- 高速DC伺服马300mm/sec
- 可选配的无电刷线性直流伺服电机控制500mm/sec
- 双放大倍数光学系统
- Windows2000操作系统下View测量软件
- 客户自定义界面
- M多元传感的照相机和激光探头
- 具有专利的可编程的环光（多种颜色LED版本）
- 独有的边缘寻边的算法
| Summit 450 技术指标 |
| 测量范围 |
450×450×150mm （18×18×6in） |
| 机器尺寸（W×D×H） |
1016×1460×1930mm （40×57.5×76in） |
| 重量 |
1136 kg |
| Summit 600 技术指标 |
| 测量范围 |
450×450×150mm （18×18×6in） |
| 机器尺寸（W×D×H） |
1016×1460×1930mm （40×57.5×76in） |
| 重量 |
1136 kg |
| Summit 800 技术指标 |
| 测量范围 |
760×800×150mm |
| 机器尺寸（W×D×H） |
1422×1884×1930mm |
| 其它技术 |
| 分辨率 |
标配0.1μm |
| 平台驱动系统 |
无电刷线性直线伺服电机控制 |
| 平台驱动速度 |
300 mm/sec |
| 载重 |
35㎏ |
| 光学系统 |
标配，单放大倍数固定镜头光学系统。放大倍数：1.0x－20x
(屏幕放大30x－550x) |
| 光源 |
标配：LED背光和多色同轴表面光源
选配：多色可编程LED环光
选配：热光源背光，同轴表面光源和具有专利的可编程环光 |
| 光学传感器 |
数字处理高质量单色739×576像素，阵列的OCD摄像机 |
| 影像处理 |
256、8位，灰色级具有5:1－50:1一次像素 |
| 软件 |
VMS软件 |
| 计算机 |
Intel奔腾4处理器、17″SVGA显示器、操作杆、鼠标、键盘 |
| 选项 |
专利的栅格自动聚集
各种微距和微距物镜
高级编程软件；高级语言能力和可编程的完整的输出报告
坐标文件输入以减少“数导模式”的编程
离机编程软件
CAD输入软件
View界面软件（VIP）
操作员程序直接联线到数据分析（只要按执行）
实时SPC分析和报告
型位适配和分析软件
夹具
校准和附件 |
| 激光 |
三角测量和共焦激光传感器
通过镜头的激光传感器 |
| 测量精度在20℃（68℉） |
U2（xy平面）=（1.5+L/250）μm
U1（z轴）=（1.5+L/50）μm
其中L=以毫米为单位的测量长度
全部指标适用热稳定的机器和使用6.6倍物镜在20℃±0.5℃下测量NIST认可的样板 | |
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