在环保意识高涨的当下，工业生产带来的氮氧化物污染问题愈发严峻。氮氧化物不仅是形成臭氧(烟雾)的关键因素，危害人体健康，引发呼吸道疾病，还是酸雨的 “帮凶”，会破坏土壤、水体和植被，甚至影响空气质量和能见度。全球多国都对其排放实施了严格限制，如德国空气质量标准或美国EPA，对氮氧化合物排放设定了严格限制。
协微氮氧化合物减排装置正是针对这些问题，致力于高效去除氮氧化物，为半导体等高科技产业提供高效的解决方案来防止、减少并处理所生成的氮氧化合物。
01、核心技术剖析：臭氧氧化，高效净化
产品核心技术是利用臭氧的强氧化性。臭氧氧化能力出众，仅次于氟、-OH和O(原子氧)，是单质氯的1.52倍。处理时，先由臭氧发生器精准产生臭氧并科学配比，再与尾气在Scrubber排气管道中混合，将NO氧化为高价态氮氧化物，最后在喷淋塔与水或碱液反应生成亚硝酸盐和硝酸盐，实现高效净化。整个过程迅速、彻底，且臭氧反应后生成氧气，绿色环保。
02、智能控制系统：精准调控，安全无忧
产品配备先进的智能控制系统，操作界面简洁直观，方便操作人员进行监控和管理。
工作状态指示灯让设备运行状况一目了然;臭氧浓度和电流监测功能，能在异常时及时切断电源，保障安全;还可轻松设置输出电压，切换手动、自动模式，满足不同生产工艺需求，实现精准调控。
03、卓越性能表现：高效稳定，适应性强
性能方面，该产品表现卓越。无需额外前驱气体，降低生产成本;常温即可高效反应，减少能源消耗。当NO浓度≤600mg/m³，NO转化率可达90 - 95%，最高超98%;实际应用中，NO转化率超96%，NOx处理效率超45%。在不同工艺和工况下都能稳定运行，华力测试中，NO转化率大多在96%以上，NOx处理效率在45% - 55%之间。
与厂务碱洗配合时，其优势更明显。NO浓度在560 - 860mg/m³、NOx浓度在929 - 1427mg/m³时，全范围调节能力强，末端O3逃逸量<5ppm。随着NaOH碱液pH值升高，NOx脱除效率显著提升，pH>10时，采用DeNOx+NaOH碱液洗涤，NOx效率超75%，远超单纯使用DeNOx或NaOH碱液洗涤的效率。
04、完善规格参数，适配多元工业需求
产品规格设计也充分考虑工业多样性。电气参数可满足不同场景电力需求;4 - 6个KF40规格进气口及标准接口，方便与工业管道连接;酸排水、排气参数明确，厂务酸排取样口设置合理;产品尺寸设计预留充足维修空间，保障设备长期稳定运行。
分体式
集成式
协微氮氧化合物减排装置在工艺废气处理领域为泛半导体企业提供了解决氮氧化物排放问题的可靠方案。它不仅有助于企业满足日益严格的环保法规要求，还能助力企业实现绿色可持续发展，应用前景广阔。
（来源：协微环境）
