展位号：6.1H-B057
Equator™ 500比对仪
全新雷尼绍Equator™ 500比对仪 — 实现大型工件的智能化制程控制，兼具成熟可靠的Equator 300比对仪优点。
全新Equator 500比对仪尺寸更大，其工作空间的直径可达500 mm，高度可达400 mm，因此可测量更大的工件。
Equator 500比对仪在与SM25-2扫描模块配合使用时，在X/Y平面的测量空间直径为500 mm，在Z轴的测量空间高度为250 mm。与SM25-3扫描模块配合使用时，Equator 500比对仪在Z轴的测量空间高度可延长至400 mm，这样便可使用最长达200 mm的测针，从而触测更多特征。
VIONiC™光栅系列
VIONiC系列是雷尼绍的超高精度、一体化数字增量式光栅，适用于线性和旋转应用。VIONiC将所有必需的细分和数字信号处理功能组合封装在读数头内，其电子细分误差 (SDE) 低至 <±10 nm，分辨率低至2.5 nm。
VIONiC读数头系列具有两种型号，分别为VIONiC和VIONiCplus™，二者均可提供多种配置，旨在优化您的运动控制系统的速度和性能。
可选的高级诊断工具 (ADT) 可通过直观的软件界面提供全面的反馈。高级诊断工具可帮助完成查错和维修，还可以协助在安装条件较为苛刻时优化系统设置。
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