Fully Auto有门道。
晶圆仓与洁净室Stocker之间，高速的OHT系统连接，主要覆盖Inter Bay，是生产物流“大动脉”;
在Stocker与E-Rack再到机台上下料环节，采用AMR，覆盖Intra Bay，是工厂里的物流“毛细血管”。Inter Bay上主打一个快，Intra Bay中讲究一个细腻。AMR与OHT互为补充，共同铺开半导体生产的智能化升级通路。
1、集群调度
支持1000+AMR共场作业
多机型协同调度
2、全景覆盖
全治具搬运
强辐射、高洁净、高震动场景适配
3、系统兼容
智慧生产系统协同打通
实现整场智慧物流建设
（来源：优艾智合机器人）
